금호석유화학, IR52 장영실상 수상(반도체 제조용 ArF 감광액)
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금호석유화학은 반도체 생산공정에서 미세회로 패턴 형성에 사용되는 `ArF 감광액`으로 제50주 IR52 장영실상을 수상했다.
`ArF 감광액`은 1기가급 이상 고집적 메모리인 D램 S램 플래시메모리와 마이크로프로세서(MPU) 등 비메모리반도체 제조공정에 주로 사용된다.
이 제품은 ArF(193㎚ 파장)광을 사용해 60~100나노 미세 패턴을 구현할 수 있는 게 특징이다.
금호석유화학은 1997년 말 개발하기 시작해 8년 후인 2005년 말 상용화했을 정도로 오랫동안 공을 들였으며 개발비만 137억원을 투입했다.
`ArF 감광액` 기술은 우수한 해상도와 공정마진을 자랑하면서 생산공정도 단축해 반도체 생산시 수율을 높이고 생산원가를 절감시키는 효과를 가져올 것으로 보인다.
ArF 감광액과 제품을 구성하는 원재료는 모두 독자기술로 개발했으며 회사측은 국내특허 7건과 국외특허 20건을 출원했다.
ArF 감광액 성분 90% 이상을 국산화함으로써 수입대체 효과와 기업이미지 제고 효과가 큰 것으로 분석된다.