바스프, CMP 제품 생산 위한 신설 플랜트 가동 본격화
연구조사본부
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반도체 업계 수요 증가에 발맞춰 CMP 슬러리 플랜트 투자
최첨단 기술을 적용한 제품 생산 라인으로 기존 플랜트 교체
2011년 9월 28일, 대만 - 바스프가 대만 타오위안에 위치한 콴인(Kuan Yin) 플랜트에서 ‘CMP(Chemical Mechanical Planarization, 기계 화학적 평탄화)’ 제품을 위한 새로운 생산 시설을 본격 가동한다. 바스프는 이곳에서 바스프가 독자 개발한 CMP 슬러리를 생산하는 한편, 2011년 9월 말부터는 최첨단 반도체 제조용 ‘CMP 배리어 슬러리(PLANAPUR? T-Series)’와 ‘STI 슬러리(PLANAPUR? S-Series)’도 생산할 예정이다.
바스프는 롱탄(Longtan)에 위치한 기존 CMP 슬러리 생산 플랜트를 새로운 플랜트로 대체하면서, CMP 사업을 더욱 강화할 계획이다.
바스프 글로벌 전자재료 사업부문(Global Business Unit Electronic Materials)을 총괄하고 있는 울리히 뷔쉬게스(Ulrich Büschges) 박사는 "바스프의 CMP 슬러리 제품은 시장에서 혁신적이고 우수하다는 평가를 받고 있다” 며 “바스프는 이번 투자를 통해 제조 역량과 생산 효율을 높여 고객에게 더욱 안정적으로 신뢰도 높은 제품을 공급할 계획이다. 바스프는 고객의 만족을 위해 앞으로도 최선을 다할 것이다”라고 말했다.
신설된 플랜트는 바스프의 전자재료 제품 생산의 중심지인 타오위안에 위치하게 되며, CMP 제품을 공급하는 핵심 생산기지가 될 전망이다. 타오위안에는 바스프의 CMP 연구소가 있어 최첨단 솔루션을 개발 및 고객과의 긴밀한 협조가 가능하다.
바스프의 글로벌 CMP 사업을 총괄하고 있는 클레어 왕(Claire Wang) 박사는 “CMP 연구소가 위치한 단지에 CMP 생산 플랜트가 본격적으로 가동되면서 고객과 함께 일하고 시장에 충실히 대응한다는 바스프의 전략이 더욱 탄력을 받게 됐다”며 “새롭게 떠오르고 있는 첨단 재료 시장에서 바스프의 위상과 신뢰도가 더욱 확고해질 것”이라고 밝혔다.
바스프는 글로벌 시장 및 아태지역에서 전자재료(electronic materials) 시장을 선도하면서 25년 이상 반도체 업체들에게 제품을 공급해왔다. 공정이 더욱 첨단화되고 노드 크기가 줄어들면서 CMP 공정의 정밀도와 연마 요건이 더욱 중요해졌다. 바스프는 화학분야 및 반도체 표면처리 부문에서 독보적인 전문성을 확보하고 있으며, 첨단 IC(직접회로) 제조의 핵심으로 여겨지는 CMP 부문에서도 널리 인정받고 있다.
CMP 배리어 슬러리(PLANAPUR? T-Series)
바스프의 첨단 ‘구리 배리어 CMP 슬러리’는 고분자 과학기술과 표면 및 재료 화학 분야에서 바스프가 축적한 혁신적인 기술과 전문성을 기반으로 하고 있다. 구리 배리어 CMP 슬러리는 결함 감소와 동시에 연마속도와 균일성을 높이는 효과가 있다. 여러 가지 공정 요건에 적합하도록 조정이 가능하기 때문에 지형 보정이 강화된다.
STI 슬러리(PLANAPUR? S-Series)
바스프의 견고한 ‘세리아 슬러리’와 ‘실리카 슬러리’는 바스프가 지닌 화학 전문성과 고유 연마제를 이용해 설계되었다. 세리아 슬러리와 실리카 슬러리는 입자 안정성이 우수하고, 결함을 줄여주며 처리량 또한 향상시켜 공정 윈도우를 넓히는 효과가 있다.
중국 바스프(BASF Greater China) 소개
바스프는 1885년 중국에 진출해 현재 중국 화학 업계에서 가장 큰 외국인 투자기업 중 하나로 손꼽힌다. 중국 본토 내의 바스프 직원은 약 6,980명이며, 2010년 매출은 약 58억 유로를 기록했다. 바스프는 현재 중국에서만 26개 자회사와 14개 합작회사를 두고 있다. 더 자세한 정보는www.greater-china.basf.com에서 확인할 수 있다.
바스프(BASF) 소개
바스프는 선도적인 글로벌 화학회사로 플라스틱, 기능성 제품, 농화학, 정밀화학 그리고 원유와 천연가스 등 다양한 화학제품들을 고객들에게 제공하고 있다. 바스프는 지능형 시스템 솔루션과 고부가가치 제품을 통해 거의 모든 산업분야에서 신뢰성 높은 파트너로 인정 받고 있으며, 동시에 고객의 성공 가능성을 한층 높이고 있다. 또한 바스프는 기후 보호, 에너지 효율성 등의 글로벌 과제를 해결하는데 중요한 역할을 담당하고 있다. 바스프에는 2010년 연말 기준으로 약 10만 9000명이 근무하고 있으며, 2010년 매출액은 약 639억 유로를 기록했다. 바스프에 대한 보다 자세한 정보는 웹사이트 www.basf.com 또는 소셜 미디어 뉴스룸 newsroom.basf.com에서 확인할 수 있다.